经过仔细考虑,决定先把堵头拆下来,看看我们公司机械加工部门能否给加工一个。不过,拆堵头就要先拆分子分子涡轮泵,而拆这“宝贝”差不多把5793都给肢解了。
还好,不算复杂,就是要细心。另外,告诉大家一个好消息,这个堵头被我们公司的师傅成功的复制了尼龙的,安上后效果不错,真空上去了。运行了5天,没发现问题。给公司省了1千四(应该嘉奖)
下面我用照片和大家分享一下拆的过程。
作者:大熊
转载自:仪器信息网
转载地址:http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20080518/1266967/index.shtml
作者Email:smallhome@163.com

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按图示取出电气模块的挡板
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拧开电器模块的固定螺母
[attach]2644[/attach]向前平拉出电器模块(后面的电线全部断开)
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电器模块拆除后的样子
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现在拆除真空室侧板(贵重配件,一定要小心)。打开到大概70度的样子,双手
拿稳,向上慢慢举起
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侧板拆除后的样子
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取出后部涡轮泵电器控制模块。先向左转一点,再向后拉。(右边两个卡位,左前有一个卡位)
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拆除分子涡轮泵的插头和真空管路。拆插头时注意:用手摸到插头后部,会有个手柄,小心逆时针旋转,插头自己就掉出来了。
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好了,现在就要找个有力气的,双手拿住真空室向上提出(小心真空室后部的真空硅管,别搞破了)真空室和分子涡轮泵。拆解完毕。安装回去的过程向反。不过要注意几点。首先是电器控制模块有个卡位,安回去时要卡到位。
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其次,后部的电线要记住插哪里,不要插错了。这是全部插完后的样子。
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最后还是要提醒大家,没事不要自己拆,拆坏一个部件那就很要命了,安捷伦的报价会吓你一跳(垄断的好处)!